MEMSからナノマシンへ

ESASHI Masayoshi; ONO Takahito

文献

J-GLOBAL ID：200902221577494353 整理番号：05A0655321

MEMSからナノマシンへ

From MEMS to nanomachine

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巻： 38 号： 13 ページ： R223-R230 発行年： 2005年07月07日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

本論文では,マイクロ電気機械システム(MEMS)およびナノマ...

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固体デバイス製造技術一般

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