多孔質シリカ膜の構造的および誘電的性質に対するTEOS/MTES比の影響

YU S; WONG T K S; HU X; PITA K

文献

J-GLOBAL ID：200902221628218518 整理番号：03A0348354

多孔質シリカ膜の構造的および誘電的性質に対するTEOS/MTES比の影響

The Effect of TEOS/MTES Ratio on the Structural and Dielectric Properties of Porous Silica Films

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巻： 150 号： 5 ページ： F116-F121 発行年： 2003年05月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

オルトけい酸テトラエチル(TEOS)とメチルトリエトキシシラ...

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酸化物薄膜 , 非金属化合物 , 固体デバイス製造技術一般

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