界面活性剤を添加した種々のテトラメチル水酸化アンモニウム水溶液中の異方性シリコンエッチング特性の研究

YANG Chii-Rong; YANG Cheng-Hao; CHEN Po-Ying

文献

J-GLOBAL ID：200902222161270215 整理番号：05A1032777

界面活性剤を添加した種々のテトラメチル水酸化アンモニウム水溶液中の異方性シリコンエッチング特性の研究

Study on anisotropic silicon etching characteristics in various surfactant-added tetramethyl ammonium hydroxide water solutions

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巻： 15 号： 11 ページ： 2028-2037 発行年： 2005年11月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

微小電子機械システム(MEMS)の製造ではアルカリ溶液中での...

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固体デバイス製造技術一般

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