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J-GLOBAL ID：200902222741080960   整理番号：08A0005190

RFプラズマ強化CVDで調製した六方晶BCN膜

Hexagonal BCN Films Prepared by RF Plasma-enhanced CVD

著者 (4件)： MANNAN Md. Abdul (Dep. of Applied Chemistry, Fac. of Sci. and Engineering, Saga Univ.) ,  NAGANO Masamitsu (Dep. of Applied Chemistry, Fac. of Sci. and Engineering, Saga Univ.) ,  HIRAO Norie (Synchrotron Radiation Res. Unit, Quantum Beam Sci. Directorate, Japan Atomic Energy Agency) ,  BABA Yuji (Synchrotron Radiation Res. Unit, Quantum Beam Sci. Directorate, Japan Atomic Energy Agency)
資料名： Chemistry Letters  (Chemistry Letters)
巻： 37  号： 1  ページ： 96-97 (J-STAGE)  発行年： 2008年 
JST資料番号： S0742A  ISSN： 0366-7022  CODEN： CMLTAG  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： トリス(ジメチルアミノ)ボラン(TDMAB)を前駆体とする高...

シソーラス用語： 炭化物 ,...
準シソーラス用語： カルボニトリド

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分類 (2件)： 塩  (CD01050V) ,  その他の無機工業薬品,無機材料  (YB02090K)

引用文献 (12件)：

• 1) M. Kawaguchi, Adv. Mater. 1997, 9, 615.
• 2) W. J. Pan, J. Sun, H. Ling, N. Xu, Z. F. Ying, J. D. Wu, Appl. Surf. Sci. 2003, 218, 298.
• 3) H. Sun, S.-H. Jhi, D. Roundy, M. L. Chohen, S. G. Louie, Phys. Rev. B 2001, 64, 94108.
• 4) Y. Wada, Y. K. Yap, M. Yoshimura, Y. Mori, T. Sasaki, Diamond. Relat. Mater. 2000, 9, 620.
• 5) H. S. Kim, I. H. Choi, Y.-J. Baik, Surf. Coat. Technol. 2000, 133–134, 473.

タイトルに関連する用語 (4件)： RF ,  プラズマ強化CVD ,  調製 ,  六方晶