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J-GLOBAL ID：200902224111654937   整理番号：07A0940986

学際領域研究開発 II“ナノ・IT分野”における技術革新 次世代集積回路におけるメタルゲート材料探索と仕事関数制御-組成傾斜金属薄膜作製と仕事関数計測-

著者 (3件)： 知京豊裕 (物質・材料研究機構 ナノマテリアル研) ,  AHMET Parhat (物質・材料研究機構 ナノマテリアル研) ,  吉武道子 (物質・材料研究機構 ナノマテリアル研)
資料名： NIMS NOW  (NIMS NOW)
巻： 5  号： 5  ページ： 3  発行年： 2005年05月 
JST資料番号： Z0024B  資料種別： ニュースレター (N)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (13件)： 学際領域 ,  研究 ,  開発 ,  IT ,  次世代 ,  集積回路 ,  メタルゲート ,  探索 ,  仕事関数 ,  組成傾斜 ,  金属薄膜 ,  作製 ,  計測