LIM D.s. について
Dep. of Material Sci. and Engineering, Korea Univ., Anam-Dong 5-1, Sungbuk-Ku, Seoul, 136-701, KOR について
AHN J.w. について
Dep. of Material Sci. and Engineering, Korea Univ., Anam-Dong 5-1, Sungbuk-Ku, Seoul, 136-701, KOR について
PARK H.s. について
Memory Res. and Dev. Div., Hynix Semiconductor Inc., San 136-1, Ami-ri, Bubal-eub, Ichon-si, Kyoungki-do, 467-701, KOR について
SHIN J.h. について
Memory Res. and Dev. Div., Hynix Semiconductor Inc., San 136-1, Ami-ri, Bubal-eub, Ichon-si, Kyoungki-do, 467-701, KOR について
Surface & Coatings Technology について
アイソレーション【IC】 について
ラップ仕上 について
セラミック・陶磁器の製造 について
固体デバイス製造技術一般 について
STI について
CMP について
酸化けい素 について
皿 について
くぼみ について
段差 について
高さ について
研磨材 について
粒度 について