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J-GLOBAL ID:200902224806673037 整理番号:05A0905680
スマートプラズマプロセス
Smart plasma process
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著者 (1件):
堀勝
堀勝 について
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(
名古屋大 大学院工学研究科
)
名古屋大 大学院工学研究科 について
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資料名:
応用物理 (JSAP International)
応用物理 について
JST資料番号 F0252A ですべてを検索
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巻:
74
号:
10
ページ:
1328-1335
発行年:
2005年10月10日
JST資料番号:
F0252A
ISSN:
0369-8009
CODEN:
OYBSA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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プラズマプロセスは,超微細加工や機能性薄膜の低温形成を実現す...
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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微細加工
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*プラズマプロセシング
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分類 (1件):
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プラズマ応用
(BJ02110K)
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引用文献 (32件):
ABE, H. Jpn. J. Appl. Phys. 1973, 12, 154
COBURN, J. W. J. Appl. Phys. 1979, 50, 3189
板谷良平. 応用物理. 1990, 59, 912
堀勝. 化学工業. 2005, 56, 435
PFITZNER, L. Material Science in Semiconductor Processing. 2003, 5, 321
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