低価格の銅ジアルキルアミノ-2-プロポキシドから純銅薄膜の有機金属CVDに関する研究  配位子のわずかな変化による前駆体の熱的特性の調整

BECKER R; DEVI A; WEISS J; WECKENMANN U; WINTER M; KIENER C; BECKER H-W; FISCHER R A

文献

J-GLOBAL ID：200902225988751328 整理番号：03A0512662

低価格の銅ジアルキルアミノ-2-プロポキシドから純銅薄膜の有機金属CVDに関する研究配位子のわずかな変化による前駆体の熱的特性の調整

A Study on the Metal-Organic CVD of Pure Copper Films from Low Cost Copper(II) Dialkylamino-2-propoxides: Tuning the Thermal Properties of the Precursor by Small Variations of the Ligand

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著者 (8件)： , , , , , , ,
資料名：
巻： 9 号： 3 ページ： 149-156 発行年： 2003年06月
JST資料番号： W0908A ISSN： 0948-1907 CODEN： CVDEFX 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

銅は集積回路のAl配線に換わる材料として注目されている。縦型...

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金属薄膜

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低価格の銅ジアルキルアミノ-2-プロポキシドから純銅薄膜の有機金属CVDに関する研究 配位子のわずかな変化による前駆体の熱的特性の調整

低価格の銅ジアルキルアミノ-2-プロポキシドから純銅薄膜の有機金属CVDに関する研究配位子のわずかな変化による前駆体の熱的特性の調整