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J-GLOBAL ID：200902226169915032   整理番号：06A0541529

MEMS-ベースの水素ガスセンサ

MEMS-based hydrogen gas sensors

著者 (7件)： DIMEO Frank (ATMI, Danbury, CT 06810, USA) ,  CHEN Ing-shin (ATMI, Danbury, CT 06810, USA) ,  CHEN Philip (ATMI, Danbury, CT 06810, USA) ,  NEUNER Jeffrey (ATMI, Danbury, CT 06810, USA) ,  ROERHL Andreas (ATMI, Danbury, CT 06810, USA) ,  ROERHL Andreas (Sensoric, Bonn, DEU) ,  WELCH James (ATMI, Danbury, CT 06810, USA)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 117  号： 1  ページ： 10-16  発行年： 2006年09月12日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 工業用ガスおよびエネルギー貯蔵媒体として広範囲に使用されてい...

シソーラス用語： *電気機械 ,...
準シソーラス用語： 2層材 ,...

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分類 (2件)： その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  無機物質中の元素の電気分析  (CC05022V)

物質索引 (1件)： イソプロピルアルコール

タイトルに関連する用語 (3件)： MEMS ,  水素 ,  ガスセンサ