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J-GLOBAL ID：200902226231039872   整理番号：03A0159151

ZnOピエゾ電気膜のマイクロマシニング工程との両立性

The compatibility of ZnO piezoelectric film with micromachining process.

著者 (4件)： XU T (Univ. California, CA, USA) ,  WU G (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  ZHANG G (Peking Univ., Beijing, CHN) ,  HAO Y (Peking Univ., Beijing, CHN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A104  号： 1  ページ： 61-67  発行年： 2003年03月15日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 反応性材料であり,温度・酸・塩基・水に敏感で,後処理マイクロ...

シソーラス用語： 酸化亜鉛 ,...

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： ZnO ,  ピエゾ電気 ,  マイクロマシニング ,  両立性