走査近視野光リソグラフィーによる電子ビームリソグラフィーの分解能とのマッチング

SUN S; LEGGETT G J

文献

J-GLOBAL ID：200902227821238893 整理番号：04A0644778

走査近視野光リソグラフィーによる電子ビームリソグラフィーの分解能とのマッチング

Matching the Resolution of Electron Beam Lithography by Scanning Near-Field Photolithography

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巻： 4 号： 8 ページ： 1381-1384 発行年： 2004年08月
JST資料番号： W1332A ISSN： 1530-6984 CODEN： NALEFD 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

紫外レーザと近視野走査光学顕微鏡(NSOM)を組み合わせた走...

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固-液界面 , 固体デバイス製造技術一般

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