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J-GLOBAL ID：200902227996097699   整理番号：09A1117355

曲げモーメントにより駆動した可変焦点凸面マイクロミラー

A Varifocal Convex Micromirror Driven by a Bending Moment

著者 (2件)： HOKARI Ryohei (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  HANE Kazuhiro (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics  (IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics)
巻： 15  号： 5  ページ： 1310-1316  発行年： 2009年09月 
JST資料番号： W0734A  ISSN： 1077-260X  CODEN： IJSQEN  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新方式の可変焦点マイクロミラーを設計し,シリコンのマイクロマシニング技術を用いて製作した。このマイクロミラーはミラー材料に電圧駆動曲げモーメントを加え,曲率半径が制御された凸球面を形成する。平板材料の支点外部の周辺に力を加えると,曲げモーメントのみが発生して変形は純球形となり,小さい変形の球面は放物面での近似が可能になる。SOI構造のウエハのシリコン層に鏡面構造を形成したデバイスとガラス板をアノード接合したデバイスを製作した。ミラーの直径は1000~1500μmにした円筒形凸面鏡も製作した。製作した球面鏡は電圧を215Vにしたときのミラーの中心と端部間の偏差が2.58μmであり,表面プロフィルの放物面からの偏差は400μm径の支点の内部において4.7nm(rms)以下であった。0~215Vの電圧による焦点距離は∞~24mmの範囲の可変性を得ることができた。

シソーラス用語： *適応光学 ,  *MEMS ,  *反射鏡 ,  *可変構造系 ,  *凸面鏡 ,  焦点距離 ,  可変性 ,  曲げモーメント ,  光学設計 ,  ケイ素 ,  マイクロマシニング ,  ウエハ【IC】 ,  SOI構造 ,  鏡面仕上 ,  球面鏡 ,  駆動 ,  電場 ,  統計量
準シソーラス用語： *マイクロミラー ,  曲率半径

分類 (3件)： 光学情報処理  (BD03060T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光学器械要素とその材料  (QF05020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 曲げモーメント ,  可変焦点 ,  凸面 ,  マイクロミラー