MEMSアクチュエータを用いたサブ波長金属回折格子の集積

HORSLEY David A.; HORSLEY David A.; PROVINE J; SKINNER Jack; SKINNER Jack; SKINNER Jack

文献

J-GLOBAL ID：200902228305492135 整理番号：06A0090150

MEMSアクチュエータを用いたサブ波長金属回折格子の集積

Integration of Subwavelength Metal Gratings with MEMS Actuators

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資料名：
巻： 6008 ページ： 600810.1-600810.8 発行年： 2005年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

サブ波長直径の孔を周期的間隔で空けた金属薄膜は,エバネセント...

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光デバイス一般 , 量子光学一般 , 固体デバイス製造技術一般

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