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J-GLOBAL ID：200902228591860928   整理番号：06A0256537

ポリ-Si基板上のHfC被覆エミッタアレイのパラメータ分散評価

Parameter dispersion characterization for arrays of HfC-coated emitters on poly-Si substrate
著者 (6件)：
NICOLAESCU D.

NICOLAESCU D. について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN について

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NAGAO M.

NAGAO M. について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN について

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FILIP V.

FILIP V. について

(Fac. of Physics, Univ. of Bucharest, P.O. Box MG-11, Bucharest-Magurele 76900, ROM)

Fac. of Physics, Univ. of Bucharest, P.O. Box MG-11, Bucharest-Magurele 76900, ROM について

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TANOUE H.

TANOUE H. について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN について

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KANEMARU S.

KANEMARU S. について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN について

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ITOH J.

ITOH J. について

(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN)

National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, JPN について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について


巻： 24  号： 2  ページ： 1045-1051  発行年： 2006年03月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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HfC被覆ポリ-Si電界放出アレイ(FEA)を作製し,モデル...
シソーラス用語：
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*電界放出アレイ

電界放出アレイ について

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準シソーラス用語：
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平板ディスプレイ

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分類 (3件)：
分類
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電子源,イオン源 
(BD02020U)

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,  熱電子放出,電界放出 
(BM09020S)

熱電子放出,電界放出 について

,  表示機器 
(NC06030Q)

表示機器 について

タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
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アレイ

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パラメータ について

, 
評価

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