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J-GLOBAL ID：200902228675576575   整理番号：09A0282289

大気圧マイクロ波プラズマの基本的特性

Some Property of Microwave Plasma at Atmospheric Pressure

著者 (4件)： 山本優生 (近畿大 理工) ,  松谷貴臣 (近畿大 理工) ,  湯地敏史 (宮崎大) ,  小林明 (大阪大 接合科研)
資料名： プラズマ応用と複合機能材料  (Conference Journal of the IAPS Meeting)
巻： 18  ページ： 78  発行年： 2009年03月 
JST資料番号： L6242A  ISSN： 1340-9557  CODEN： POFZFU  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 大気圧マイクロ波プラズマ源の開発を行い,その基本的特性を評価した。大気圧プラズマ源としてマグネトロン発振器からの2.45GHzのマイクロ波を用い,放電管内に作動ガスAr,N₂を流し,プラズマを発生させた。マイクロ波出力564Wでの実験では,Ar,またはN₂単体ではプラズマは発生しなかったが,Arに少量のN₂を混合すると安定にプラズマを持続出来た。高速度カメラを用いてプラズマの発光強度を測定した。N₂の流量の増加と共にプラズマ発光強度が上昇することからプラズマの発光はN₂によると考えられる。

シソーラス用語： *プラズマ ,  *マイクロ波 ,  放電 ,  *アルゴン ,  *窒素 ,  放射強度 ,  プラズマ源
準シソーラス用語： *大気圧放電 ,  発光強度 ,  *マイクロ波プラズマ

分類 (2件)： プラズマ一般  (BJ02010B) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

タイトルに関連する用語 (2件)： 大気圧 ,  マイクロ波プラズマ