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J-GLOBAL ID：200902229039548193   整理番号：09A0217554

リニアモータ駆動・水静圧案内テーブルの開発(定流量静圧軸受の基本設計)

Development of a Linear-Motor-Driven Table with Hydrostatic Water Bearings (Basic Design of a Constant-Flow Hydrostatic Bearing)

著者 (4件)： 奥山繁樹 (防衛大) ,  由井明紀 (防衛大) ,  熊谷誠弥 (防衛大) ,  北嶋孝之 (防衛大)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 75  号： 750  ページ： 454-459  発行年： 2009年02月25日 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： クリーンな作業環境に適合させつつ,従来の油静圧に劣らない性能を有する定流量・水静圧案内テーブルを開発・試作するため,軸受パッドの設計に関わる基本的事項を理論的に検討した。その結果,軸受パッドの形状・寸法,流量,軸受すきま及び水の粘性係数と軸受の支持力・支持剛性及び粘性減衰係数との関係が明らかになった。また,矩形軸受パッドのアスペクト比(長さと幅の比)に関しては支持力・支持剛性への影響が小さく,実機の形状に適合させたものにすれば良いこと,正方形軸受パッドにおけるランド幅比(ランド幅とパッド半幅との比)に関しては0.5程度が適当であることなどがわかった。(著者抄録)

シソーラス用語： 工作機械 ,  作業台 ,  *電動機駆動 ,  *リニアモータ ,  静圧軸受 ,  水 ,  支持力 ,  剛性 ,  減衰定数
準シソーラス用語： *案内テーブル

分類 (1件)： 工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

引用文献 (5件)：

• 1) ABE K. On the Super-Precision Double-Disk Surface Grinding of φ400-Silicon Wafer (1st report). JSPE 1999 Spring Conf.. (1999) p.671-672.
• 2) The Japan Society for Precision Engineering ed. Precision Machining Handbook. CORONA PUBLISHING. (1992) p.1257-1269.
• 3) AOYAMA T. Hydrostatic Bearing-Design and Application. Kogyo Chosakai Publishing. (1990) p.17-57.
• 4) SLOCUM A. H. Precision Machine Design. Society of Manufacturing Engineering. (1992) p.559-562.
• 5) 楠井 直樹. ほか. 水作動液静圧軸受を用いた直動ステージの研究. 精密工学会誌. 公益社団法人 精密工学会. (1999) vol.65, no.8, p.1153-1157. https://jlc.jst.go.jp/DN/JALC/00062298742?from=CiNii, doi:10.2493/jjspe.65.1153

タイトルに関連する用語 (7件)： リニアモータ駆動 ,  水 ,  静圧 ,  開発 ,  定流 ,  静圧軸受 ,  基本設計