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J-GLOBAL ID：200902196063941437   整理番号：99A0752999

水作動液静圧軸受を用いた直動ステージの研究

A Study on Linear Motion Stage Using Water-hydrostatic Bearing.

著者 (3件)： 楠井直樹 (沼津工高専) ,  羽山定治 (東芝機械) ,  吉川昌範 (東京工大 大学院)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 65  号： 8  ページ： 1153-1157  発行年： 1999年08月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ステッパなど精密工作機械用の水作動静圧軸受を用いた直線移動ス...

シソーラス用語： *NC工作機械 ,...

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分類 (1件)： 工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

引用文献 (5件)：

• 三宅正二郎. クリーン環境用軸受. 精密工学会誌. 1991, 57, 4, 599
• 吉本成香. 水潤滑静圧スラスト軸受に関する研究. 1994年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1994, L21, 407
• UENO, S. High Precision CNC Three Axis Controlled Grinding Machine using Water Based Grinding Fluid Hydrostatic Guide Way. Proc. 8th IPES, Compiegne, France. 1995, 394
• SLOCUM, A. H. Design of Self-compensated, Water Hydrostatic Bearings. Prec. Eng. 1995, 17, 3, 173
• 楠井直樹. 水作動液を用いた静圧軸受の基礎的研究. 精密工学会誌. 1998, 64, 6, 851

タイトルに関連する用語 (6件)： 水 ,  作動液 ,  静圧軸受 ,  直動 ,  ステージ ,  研究