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J-GLOBAL ID:200902229519347660   整理番号:05A0419465

ダマシン銅メッキにおける添加剤の化学

The chemistry of additives in damascene copper plating
著者 (4件):
資料名:
巻: 49  号:ページ: 3-18  発行年: 2005年01月 
JST資料番号: D0061B  ISSN: 0018-8646  CODEN: IBMJAE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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集積回路の相互接続形成に使用される銅メッキ槽は,ダマシンメッ...
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分類 (3件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  電気めっき  ,  プリント回路 
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