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J-GLOBAL ID：200902229729427070   整理番号：09A0815013

ステンレス鋼基板上に成膜したDLC/CrN多層膜の密着性評価

Evaluation of Adhesions of DLC/CrN Multi-layered Coatings on Stainless Steel

著者 (2件)： 國次真輔 (岡山県工技セ) ,  野村博郎 (松山技研)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 60  号： 8  ページ： 527-532  発行年： 2009年08月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： SUS304鋼基板上に蒸着したDLC/CrN多層膜の密着性を,スクラッチ試験,ロックウェル圧痕試験(圧痕周辺の亀裂などの観察)および微小押込試験を用いて評価した。CrN膜は厚みゼロ(CrN膜なし),2μm,10μmの3種類とし,DLC/CrN界面あるいはDLC/SUS304鋼界面にはCr-C傾斜組成層(厚み1μm)を設けた。浸硫窒化(sln)により強化したSUS304鋼基板を用いた試料も作製した。スクラッチ試験の結果によると,厚み10μmのCrN膜を設けることにより臨界剥離荷重L_cは向上した(28N)。基材を浸硫窒化により強化したSUS基板を用いるとL_cは52Nとさらに向上した。ロックウェル圧痕試験ではDLC膜の圧痕周辺に亀裂および剥離が観察された。微小押込試験での荷重-深さ曲線にはいくつかの不連続事象(ポップイン)が存在した。これはDLCの剥離発生にともなうものである。微小押込試験後の圧痕断面のFIBでの観察によると,剥離はDLC膜/Cr-C傾斜組成層界面で生じていた。

シソーラス用語： *DLC膜 ,  クロム化合物 ,  窒化物 ,  *多層膜 ,  オーステナイト系ステンレス鋼 ,  オーステナイト鋼 ,  基板 ,  炭化物 ,  傾斜機能材料 ,  *密着性 ,  付着強さ ,  *引かき試験 ,  *載荷試験 ,  *圧痕 ,  亀裂発生 ,  *層間剥離
準シソーラス用語： SUS304 ,  *押込試験 ,  傾斜組成 ,  窒化クロム

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  セラミック材料試験  (HB04000M)

引用文献 (9件)：

• 1) 池永 勝,鈴木秀人;ドライプロセスによる超硬質皮膜の原理と工業的応用, p.58(日刊工業新聞社, 2000).
• 2) JSME-S010-1996;ドライコーティング膜の欠陥評価試験法(日本機械学会, 1996).
• 3) ISO20502 ; Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics)-Determination of adhesion of ceramic coatings by scratch testing (2005).
• 4) たとえば,池永 勝;高機能化のためのDLC成膜技術, p.197(日刊工業新聞社,2007).
• 5) S. Anzawa, H. Takizawa, H. Nomura, K. Sugimoto and M. Kobayashi ; Proc. of 4th ASM HEAT TREATMENT AND SURFACE ENGINEERING CONFERNCE IN EUROPE, 1, 253 (1998).

タイトルに関連する用語 (6件)： ステンレス鋼 ,  成膜 ,  DLC ,  多層膜 ,  密着性 ,  評価