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J-GLOBAL ID:200902230407062490   整理番号:04A0729880

ピコメータ位置決めのためのいくつかの考察

Some Considerations for Picometer Positioning
著者 (4件):
資料名:
巻: 1st  ページ: 37-42  発行年: 2004年06月09日 
JST資料番号: W1407A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: その他 (ZZZ)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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運動軽減機構を備えた工作機械用超精密位置決めデバイスを提案し...
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  ,  切削一般 

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