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J-GLOBAL ID：200902230497694296   整理番号：03A0690096

磁気サスペンションステージの長走行超精密x-y-θ運動制御

Large Travel Ultra Precision x-y-θ Motion Control of a Magnetic-Suspension Stage

著者 (3件)： KUO S-K (Ohio State Univ., OH, USA) ,  SHAN X (Corning Inc., NM, USA) ,  MENQ C-H (Ohio State Univ., OH, USA)
資料名： IEEE/ASME Transactions on Mechatronics  (IEEE/ASME Transactions on Mechatronics)
巻： 8  号： 3  ページ： 334-341  発行年： 2003年09月 
JST資料番号： W0894A  ISSN： 1083-4435  CODEN： IATEFW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 10個の電磁石によって駆動され,6自由度運動が可能な磁気サス...

シソーラス用語： *磁気浮上 ,...

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分類 (1件)： 電磁機器  (NB10030C)

タイトルに関連する用語 (4件)： 磁気サスペンション ,  ステージ ,  超精密 ,  運動制御