文献

J-GLOBAL ID：200902230523116140   整理番号：06A0315212

マイクロプラズマの基礎と展望

Basic aspects of microplasmas and their future prospects

著者 (1件)： 橘邦英 (京大)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 75  号： 4  ページ： 399-411  発行年： 2006年04月10日 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,μm~mmスケールの微小なプラズマが注目されてきている...

シソーラス用語： *プラズマ ,...
準シソーラス用語： プラズマプロセシング ,...

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分類 (1件)： プラズマ一般  (BJ02010B)

引用文献 (92件)：

• 1) 特定領域研究「マイクロプラズマ」URL, http://plasma.kuee.kyoto-u.ac.jp/~tokutei429/
• 2) K. S. Champlin : J. Appl. Phys. 30, 1039 (1959).
• 3) Y.Ochiai,K.Gamo and S.Namba : J.Vac.Sci.Technol.B,1, 1047 (1983).
• 4) H. G. Slottow: J. Electr. Chem. Soc. 118, C219 (1971).
• 5) 例えば,A. von Engel (山本賢三,奥田孝美訳): 改訂電離気体 (コロナ社,1957).

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロプラズマ ,  基礎 ,  展望