文献

J-GLOBAL ID：200902230604274750   整理番号：09A0594850

スパッタ法による多孔質AlおよびAl-Nb膜の作製

著者 (5件)： 藤井隆志 (北大 大学院) ,  青木芳尚 (北大 大学院) ,  牧野猛 (日本ケミコン) ,  小野昭二 (日本ケミコン) ,  幅崎浩樹 (北大 大学院)
資料名： 化学系学協会北海道支部冬季研究発表会講演要旨集
巻： 2009  ページ： 32  発行年： 2009年01月26日 
JST資料番号： L6025A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： エッチング ,  湿式法 ,  *多孔質体 ,  *金属薄膜 ,  アルミニウム ,  *ニオブ合金 ,  アルミニウム含有合金 ,  アノード酸化 ,  *電解エッチング

分類 (1件)： 気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタ法 ,  多孔質 ,  Al ,  Nb ,  作製