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J-GLOBAL ID：200902230745961050   整理番号：09A0289762

炭素系材料合成のための熱的非平衡プラズマ特性のRF放電を用いた制御に関する研究

著者 (2件)： 石丸和博 (岐阜工高専) ,  上村友孝 (岐阜工高専)
資料名： 岐阜工業高等専門学校紀要  (Memoirs of Gifu National College of Technology)
号： 44  ページ： 31-36  発行年： 2009年03月01日 
JST資料番号： F0419A  ISSN： 0386-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： CVDにおける非平衡プラズマの特性を制御する方法を検討した。メタンー水素反応系を用いたRF放電による熱的非平行プラズマを混合した場合の制御効果を検討し,以下の結果を得た。1)ヘリウム混合の効果により,比較的圧力の高い減圧下でも安定したグロー放電プラズマを維持でき,減圧効果と同等以上の原料ガス分圧を実現できる。2)ヘリウムが混合された原料ガス中では,RF放電プラズマの放電電気特性は,パルス変調放電モードの場合,パルス周波数,パルスデューティー比の影響を受けにくい。

シソーラス用語： *炭素材 ,  *RF放電 ,  *プラズマCVD ,  ヘリウム ,  水素 ,  グロー放電 ,  減圧 ,  カーボンナノチューブ ,  アルカン ,  放電プラズマ ,  容量結合プラズマ ,  *低温プラズマ
準シソーラス用語： *非平衡プラズマ ,  デューティ比

分類 (1件)： その他の無機化合物の結晶成長  (BK13060T)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (5件)： 炭素系材料 ,  非平衡 ,  プラズマ特性 ,  RF放電 ,  研究