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J-GLOBAL ID：200902230776821494   整理番号：09A0588422

Ar-N₂-O₂プラズマとAr-NOプラズマのガス組成の類似性

Resemblance in gas composition of Ar-N₂-O₂ plasmas and Ar-NO plasmas

著者 (4件)： VAN HELDEN J H (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  ZIJLMANS R A B (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  SCHRAM D C (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  ENGELN R (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
資料名： Plasma Sources Science and Technology  (Plasma Sources Science and Technology)
巻： 18  号： 2  ページ： 025020,1-11  発行年： 2009年05月 
JST資料番号： W0479A  ISSN： 0963-0252  CODEN： PSTEEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 環境応用,大気プラズマとの関連で,標記混合気体のアーク放電で生成したプラズマ中の定常状態粒子組成を定量質量分析した。Ar-N₂-O₂放電ではN₂とO₂が主成分だが,NOも5%程度生成される。逆にNOをAr中に混合した放電では,NOが解離してN₂とO₂に分解される。大半の生成分子は壁会合反応で生じるが,N原子とO₂分子間の気相反応でもNOが生成される。両プラズマとも初期ガス組成は異なっていても,反応で到達する定常ガス組成は類似しており,NOが約5%で,残り95%がN₂とO₂である。熱力学的に最も安定な粒子が生成されている。

シソーラス用語： *アーク放電 ,  *質量分析 ,  化学組成 ,  大気プラズマ ,  プラズマ処理
準シソーラス用語： ガス組成 ,  プラズマプロセシング

分類 (3件)： 大気・天体プラズマ  (BJ02020M) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (7件)： Ar ,  N2 ,  O2 ,  プラズマ ,  NO ,  ガス組成 ,  類似性