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J-GLOBAL ID：200902231577737162   整理番号：03A0738729

超薄単結晶シリコンカンチレバー共振器 生産技術およびYoung率に及ぼす有意な試料サイズ効果

Ultrathin single-crystalline-silicon cantilever resonators: Fabrication technology and significant specimen size effect on Young’s modulus

著者 (4件)： LI X (Shanghai Inst. of Microsystem and Information Technol., CAS, Shanghai, CHN) ,  ONO T (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  WANG Y (Shanghai Inst. of Microsystem and Information Technol., CAS, Shanghai, CHN) ,  ESASHI M (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 83  号： 15  ページ： 3081-3083  発行年： 2003年10月13日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚さ12nmまでの標題カンチレバーを量産する技術を開発し,製...

シソーラス用語： *ケイ素 ,...
準シソーラス用語： カンチレバー共振器

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (6件)： 単結晶シリコン ,  カンチレバー ,  共振器 ,  Young率 ,  試料 ,  サイズ効果