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J-GLOBAL ID：200902232272117160   整理番号：03A0329367

表面波励起マイクロ波プラズマによる大面積基板への配向カーボンナノチューブの作製

Large-Area Synthesis of Aligned Carbon Nanotubes by Surface-Wave-Excited Microwave-Plasma CVD

著者 (6件)： 林裕之 (京都工繊大 工芸) ,  古賀瑞帆 (京都工繊大 工芸) ,  頭島淳 (京都工繊大 工芸) ,  高橋一正 (京都工繊大 工芸) ,  林康明 (京都工繊大 工芸) ,  西野茂弘 (京都工繊大 工芸)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 46  号： 3  ページ： 249-252  発行年： 2003年03月20日 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 1個又は2個のスロットアンテナを用いた表面波励起マイクロ波プ...

シソーラス用語： *ナノチューブ ,...

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (4件)：

• IIJIMA, S. Nature. 1991, 354, 56
• REN, Z. F. Science. 1998, 282, 1105
• HAYASHI, Y. J. Vac. Sci. Technol, A. 2001, 19, 1796
• MURAKAMI, H. Appl. Phys. Lett. 2000, 76, 13

タイトルに関連する用語 (6件)： 表面波励起 ,  マイクロ波プラズマ ,  大面積基板 ,  配向 ,  カーボンナノチューブ ,  作製