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J-GLOBAL ID：200902232632955073   整理番号：03A0082517

LiTaO₃およびLiNbO₃基板上に熱プラズマで成長させたエピタクシーLiNb_0.5Ta_O0.5O₃薄膜

Epitaxial LiNb_0.5Ta_0.5O₃ films on LiTaO₃ and LiNbO₃ substrates grown by thermal plasma.

著者 (8件)： KULINICH S A (National Inst. Materials Sci., Tsukuba, JPN) ,  YAMAKI T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  BYSAKH S (National Inst. Materials Sci., Tsukuba, JPN) ,  YAMAMOTO H (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  MITSUISHI K (National Inst. Materials Sci., Tsukuba, JPN) ,  SONG M (National Inst. Materials Sci., Tsukuba, JPN) ,  TERASHIMA K (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  FURUYA K (National Inst. Materials Sci., Tsukuba, JPN)
資料名： Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)
巻： 247  号： 3/4  ページ： 408-418  発行年： 2003年01月 
JST資料番号： B0942A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 有機金属前駆体を用いた熱プラズマスプレイCVDにより標記基板...

シソーラス用語： *化学蒸着 ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 熱プラズマ ,  成長 ,  エピタクシー ,  薄膜