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J-GLOBAL ID：200902232964391262   整理番号：04A0383944

高周波マグネトロンスパッタリング法による固体酸化物形燃料電池の作成-単セルのアニール処理温度依存性-

Preparation of Solid Oxide Fuel Cell using RF Magnetron Sputtering-Dependency of single SOFC performance on temperature of annealing treatment-

著者 (3件)： 見市知昭 (大阪工大 工) ,  西本彰文 (大阪工大 工) ,  長田昭義 (大阪工大 工)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 47  号： 3  ページ： 128-131  発行年： 2004年03月20日 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： イットリア安定化ジルコニウム(YSZ)薄膜を電解質とする固体...

シソーラス用語： 高温燃料電池 ,...
準シソーラス用語： SOFC【電池】

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分類 (2件)： 燃料電池  (YB04040V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (3件)：

• 掛山智哉. 真空. 2003, 46, 524-528
• NAGATA, A. Vacuum (PERGAMON). 2002, 66, 523-529
• 田川博章. 固体酸化物形燃料電池と地球環境. 1998

タイトルに関連する用語 (5件)： 高周波マグネトロンスパッタリング ,  固体酸化物形燃料電池 ,  単セル ,  アニール処理 ,  温度依存性