CO<sub>2</sub>レーザ支援エーロゾル析出によって製造されたPZT/ステンレス鋼の強誘電性へのキャリアガス種の影響

BABA So; AKEDO Jun; TSUKAMOTO Masahiro; ABE Nobuyuki

文献

J-GLOBAL ID：200902233108632263 整理番号：06A0431881

CO₂レーザ支援エーロゾル析出によって製造されたPZT/ステンレス鋼の強誘電性へのキャリアガス種の影響

Effect of Carrier Gas Species on Ferroelectric Properties of PZT/Stainless-Steel Fabricated by CO₂ Laser-Assisted Aerosol Deposition

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巻： 89 号： 5 ページ： 1736-1738 発行年： 2006年05月
JST資料番号： C0253A ISSN： 0002-7820 CODEN： JACTAW 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

エーロゾル析出法(ADM)によって堆積させ,CO<sub>2...

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酸化物薄膜 , 強誘電体,反強誘電体,強弾性

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CO2レーザ支援エーロゾル析出によって製造されたPZT/ステンレス鋼の強誘電性へのキャリアガス種の影響

CO₂レーザ支援エーロゾル析出によって製造されたPZT/ステンレス鋼の強誘電性へのキャリアガス種の影響