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J-GLOBAL ID：200902233789948697   整理番号：09A0217539

実用的なスポット像からの波面収差解析手法の開発

Development of the Practical Aberration Retrieval Method from Spot Intensity Images

著者 (3件)： 上島正史 (東京工大 大学院情報理工学研究科) ,  天谷賢治 (東京工大 大学院情報理工学研究科) ,  片岡康生 (カツラ・オプト・システムズ)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 75  号： 750  ページ： 334-342  発行年： 2009年02月25日 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 従来の収束型位相回復問題研究を基に,実用的に用いることができるスポット像からの波面収差解析手法を開発した。また,撮像素子の各種ノイズに対するロバスト性を向上させるための改良を施した。数値実験と実際の実験を行い,本手法が波面収差を0.5秒で0.001[mλ]の繰り返し精度で同定できる手法であることを実証した。また,実験結果とその理論予測と比較する4種類の検証実験を行った。その結果,両者間に高い整合性があることが確認された。以上により,本収差解析手法は実用的であり高精度な収差解析が可能であることが実証された。(著者抄録)

シソーラス用語： 光学器械 ,  結像 ,  *光学的測定 ,  *波面収差 ,  画像 ,  画像処理 ,  数値解析 ,  光電素子 ,  雑音 ,  ロバスト性 ,  撮像素子
準シソーラス用語： *スポット画像

分類 (1件)： 光学器械要素とその材料  (QF05020K)

引用文献 (18件)：

• TAKADA, Motohiro. Laser aberration measurement using interferometer. Optical alliance. 2001, 2, 19-22
• TANAKA, Yasuhiro. Novel measuring technique of the optical performance of objective lenses for optical disk systems. Applied Optics. 1992, 31, 25, 5305-5311
• GERCHBERG, R. W. A practical algorithm for the determination of phase from image and diffraction plane pictures. Optik. 1972, 35, 2, 237-246
• FIENUP, J. R. Phase retrieval algorithms : a comparison. Applied Optics. 1982, 21, 15, 2758-2769
• MISELL, D. L. An examination of an iterative method for the solution of the phase problem in optics and electron optics : I. Test calculations. J. Phys. D : Appl. Phys. 1973, 6, 2200-2217

タイトルに関連する用語 (4件)： スポット ,  波面収差 ,  解析手法 ,  開発