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J-GLOBAL ID：200902234098360266   整理番号：08A0807217

銅合金へのDLC成膜とそのトライボロジー特性

Tribological Characteristics of DLC Coating for Copper Alloy

著者 (3件)： 伊藤誉 (関西大 大学院工学研究科) ,  斉藤啓 (関西大 工) ,  杉本隆史 (関西大 化学生命工)
資料名： 銅と銅合金  (Journal of Japan Institute of Copper)
巻： 47  ページ： 117-120  発行年： 2008年08月01日 
JST資料番号： S0603A  ISSN： 1347-7234  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 銅合金の表面処理へのDLC(ダイヤモンド状炭素)皮膜の適用例は少ない。本研究では,銅合金(黄銅,快削黄銅)にプラズマアシストCVD法でDLC膜を成膜し,密着性やトライボロジー特性を調べた。また,ポスト熱処理の影響も検討した。銅合金基板に中間層としてTiをスパッタ蒸着することにより,その上に約1μmのDLC膜を成膜することができた。黄銅基板上のDLC膜は8%の塑性変形まで剥離がみられず,良好な密着性を示した。250°Cにおいて5時間の真空熱処理を施すことにより,硬化が認められ,摩擦力は上昇したが摩耗量は減少した。400°Cで1時間以内の低温・短時間のポスト熱処理でトライボロジー特性が向上した。

シソーラス用語： *銅合金 ,  黄銅 ,  快削合金 ,  亜鉛含有合金 ,  *表面処理 ,  *DLC膜 ,  プラズマCVD ,  表面構造 ,  *トライボロジー ,  *密着性 ,  後熱処理 ,  層 ,  チタン ,  スパッタ蒸着 ,  蒸着膜 ,  耐摩耗性 ,  摩耗速度 ,  滑り摩耗 ,  摩擦係数 ,  摩擦力 ,  ナノインデンテーション ,  Young率 ,  表面形態 ,  中間層 ,  構造 ,  機械的性質 ,  耐性 ,  性質
準シソーラス用語： プラズマアシストCVD

分類 (2件)： 機械的性質  (WB02030U) ,  気相めっき  (WC08022K)

引用文献 (5件)：

• 村上陽太郎編: 銅および銅合金の基礎と工業技術 (改訂版), 日本伸銅協会,(1995).
• 山田豊: 材料と環境, 50(2001), 88.
• 駒崎慎一, 佐々木雄基, 三澤俊平, 中山武典, 坪田隆之, 細木哲郎, 佐伯主税: 銅と銅合金, 44(2005), 88.
• 加賀谷忠治: 高機能化のためのDLC成膜技術, 日刊工業新聞社,(2007), 195.
• 伊藤誉, 長井達哉, 杉本隆史: 熱処理, 48(2008), 26.

タイトルに関連する用語 (4件)： 銅合金 ,  DLC ,  成膜 ,  トライボロジー特性