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J-GLOBAL ID：200902234529445647   整理番号：08A0135831

質量選択的運動量制御に向けた亜鉛-酸素混合プラズマ中の透明導電膜合成

The synthesis of transparent conductive film in the zinc-oxygen mixture plasma for mass-selective momentum control

著者 (5件)： 佐藤直幸 (茨城大) ,  小松良寛 (茨城大) ,  池畑隆 (茨城大) ,  山内智 (茨城大) ,  大貫仁 (茨城大)
資料名： 電気学会プラズマ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PST-08  号： 7-15  ページ： 33-38  発行年： 2008年01月26日 
JST資料番号： Z0951A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 誘導結合方式で生成した酸素と亜鉛の混合プラズマを用いてZnO...

シソーラス用語： *透明材料 ,...
準シソーラス用語： 運動量制御

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (12件)：

• 馬来国弼 他:「透明導電膜の技術」, オーム社pp. 207-272(2007).
• P. A. Gould: The resistivity and structure of chromium thin films” Br. J. Appl. Phys.16 pp. 1481-1491(1965).
• 佐藤直幸 他:「荷電粒子制御装置及び方法」, 特許第3377784号 (2002-12).
• 南 内嗣:「月刊ディスプレイ」5(9) pp. 10-15(1999).
• 佐藤直幸 他:「動重力効果を利用したイオンの選択的運動量制御によるZnO薄膜合成の実験準備」, 電気学会プラズマ研究会資料, PST-04-28, pp. 91-96(2004).

タイトルに関連する用語 (6件)： 質量 ,  運動量 ,  亜鉛 ,  酸素 ,  プラズマ ,  透明導電膜