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J-GLOBAL ID:200902234933694910   整理番号:05A0610034

触覚感知のためのPDMSにおける300ナノメータ厚さの片持梁

300NM-THICK CANTILEVER IN PDMS FOR TACTILE SENSING
著者 (4件):
資料名:
巻: 18th  ページ: 283-286  発行年: 2005年 
JST資料番号: W0377A  ISSN: 1084-6999  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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適用された力の方向成分を測定するために,片持梁配列を用いた触...
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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