テンプレート法により作製したβ-FeSi<sub>2</sub>薄膜のSTEM観察

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J-GLOBAL ID：200902235016976996 整理番号：04A0351099

テンプレート法により作製したβ-FeSi₂薄膜のSTEM観察

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資料名：
巻： 51st 号： 3 ページ： 1522 発行年： 2004年03月28日
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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半導体薄膜

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