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J-GLOBAL ID：200902235469134295   整理番号：08A0794255

Fe₆₅Co₃₅薄膜の結晶配向と磁気特性

Crystal Orientation and Magnetic Characteristics of Fe₆₅Co₃₅ Thin Film

著者 (3件)： 宗像誠 (崇城大) ,  大越正敏 (九州工大) ,  槙孝一郎 (住友金属鉱山)
資料名： 電気学会マグネティックス研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： MAG-08  号： 84-97  ページ： 23-28  発行年： 2008年07月31日 
JST資料番号： Z0924A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： Ruを下地層として有するCo₃₅Fe₆₅磁性膜を特殊なマグネトロンスパッタリング法で製作し,その評価を行なった。ギガヘルツの周波数域で使用する場合の下地層コーティングによる軟磁性特性向上の効果について,表面条件および成膜したままの状態での結晶構造との関係を調べた。厚さ1~3nmの厚さのコーティングは,磁性層の格子パラメータの伸張とより好ましい結晶配向と結晶粒径の微細化とを引き起こし,駆動周波数(10GHzを超える強磁性共鳴周波数)をより高くするのに非常に有効である。格子パラメータの伸張はbccのCoFeからbctのCoFeへと変換されることにによってもたらされる。好ましい方向は膜面に平行な(110)と(220)面であることがわかった。結晶粒の大きさは100nm]から10nmへと急減した。下地層とCoFe磁性層との間の表面自由エネルギーの差の減少が結晶粒の構造にを影響を及ぼしている。

シソーラス用語： マグネトロンスパッタリング ,  配向 ,  コバルト合金 ,  鉄合金 ,  結晶方位 ,  結晶粒度 ,  *軟磁性材料 ,  *磁性薄膜 ,  飽和磁化 ,  磁気異方性 ,  異方性磁場 ,  強磁性共鳴 ,  下層 ,  ルテニウム ,  下地層

分類 (2件)： 磁性材料  (NA04040H) ,  金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (12件)：

• M.Ymaguchi: IEEJ., 123, 716,(2003).
• M.Yamaguchi, and K.I.Arai, J. Magn.Soc.Jpn., 25, 59(2001).
• K.Ikeda, K.Kobayashi, K.Ota, R.Kondo, T.Suzuki, and M.Fujimoto, IEEE Trans. Magn., 39, 3057,(2003).
• S.H.Kong, T.Okamoto, and S.Nakagawa, IEEE. Trans.Magn., 39, 2285(2003).
• M.Sonehara,T.Sugiyama,T.Sato, K.Yamasawa, and Y.Miura, J.Magn.Soc.Jpn., 6, 225(2005).

タイトルに関連する用語 (3件)： 薄膜 ,  結晶配向 ,  磁気特性