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J-GLOBAL ID：200902235673635821   整理番号：09A0431079

正反射による物体表面の傾斜エリプソメトリー-精密実時間形状計測への基本概念-

Tilt-Ellipsometry of Object Surface by Specular Reflection: Concept for Precise Real-Time Shape Measurements

著者 (2件)： 山本正樹 (東北大 多元物質科研 先端計測開発セ) ,  津留俊英 (東北大 多元物質科研 先端計測開発セ)
資料名： 光学  (Japanese Journal of Optics)
巻： 38  号： 4  ページ： 204-212  発行年： 2009年04月10日 
JST資料番号： G0125B  ISSN： 0389-6625  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光学的に物体表面の三次元形状を計測する方法として,ロボティクス分野では,非偏光照射下で物体表面の散乱光の偏りを利用することが検討されている。ここでは,滑らかな物体をその周辺から完全円偏光で一様に照射して,物体表面の傾斜をエリプソメトリーで精密計測する方法を提案した。この方法の原理と応用を説明した。物体表面傾斜角の計測原理,円偏光照射による入射角計測の完全性,観測偏光状態と微傾斜の傾斜角,反射による偏光状態の変化,複素振幅反射率の計算,計測原理検証などを述べた。時間形状計測の精度を,現状の数度程度から桁違いに精密化できる可能性を示した。

シソーラス用語： *偏光解析法 ,  光反射 ,  表面性状 ,  *形状測定 ,  実時間処理 ,  精密測定 ,  傾斜 ,  *鏡面反射 ,  光照射 ,  散乱光 ,  円偏光 ,  傾斜角 ,  入射角 ,  反射率
準シソーラス用語： ロボッティックス ,  三次元形状計測 ,  *正反射

分類 (2件)： 偏光測定と偏光計  (BD07050K) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (20件)：

• 田幸敏治編. 光測定器ガイド. 1998, 197-210
• 谷田貝豊彦. 第8章形状の計測. 応用光学-光計測入門-. 1995, 118-145
• MIYAZAKI, D. Determining surface orientations of transparent objects based on polarization degrees in visible and infrared wavelengths. J. Opt. Soc. Am., A. 2002, 19, 687-694
• 宮崎大輔. 偏光レイトレーシング法による透明物体の表面形状の推定手法. 電子情報通信学会論文誌D-II. 2005, J88-D-II, 1432-1439
• ATKINSON, G. A. Recovery of surface orientation from diffuse polarization. IEEE Trans. Image Process. 2006, 15, 1653-1664

タイトルに関連する用語 (6件)： 物体表面 ,  エリプソメトリー ,  精密 ,  実時間 ,  形状計測 ,  概念