研究者
J-GLOBAL ID：200901085887396381   更新日: 2022年09月20日

山本 正樹

ヤマモト マサキ | Yamamoto Masaki
所属機関・部署：
旧所属 東北大学 多元物質科学研究所 附属先端計測開発センター

旧所属 東北大学 多元物質科学研究所 附属先端計測開発センター について


職名： 教授
研究分野 (2件)： 光工学、光量子科学 ,  薄膜、表面界面物性
競争的資金等の研究課題 (6件)：
  • 2001 - 軟X線干渉計測
  • 2001 - 軟X線多層膜結像光学
  • 2001 - soft-x-ray interferometry
  • 2001 - soft-x-ray multilayer imaging optics
  • 1981 - 超薄膜のエリプソメトリー
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MISC (307件)：
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特許 (1件)：
  • 偏光解析装置
書籍 (19件)：
  • EUV光源の開発と応用
    シーエムシー出版 2007
  • EUV source developments and applications
    CMC Publ. 2007
  • 多層膜反射鏡(4、3節),軟X線偏光素子(4、5節)
    X線結像光学(培風館)共著 1999
  • Deposition shutter control for figured multilayer fabrication
    Precision Science and Technology for Perfect Surfaces, Japan Soc. Prec. Eng.,Tokyo 1999
  • Deposition shutter control for figured multilayer fabrication
    Precision Science and Technology for Perfect Surfaces, Japan Soc. Prec. Eng.,Tokyo 1999
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学位 (1件)：
  • 理学博士 (学習院大学)
受賞 (2件)：
  • 1995 - 科学計測振興会賞
  • 1994 - 応用物理学会賞
所属学会 (3件)：
日本放射光学会 ,  日本光学会 ,  応用物理学会
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