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J-GLOBAL ID：200902235794632277   整理番号：09A1163839

W-Cr工具鋼のスパッタエッチングによって形成した微細円錐状突起物層のナノインデンテーション特性

Nano-Indentation Characteristics of Surface Layer with Fine Conical Protrusions Formed by Sputter Etching of W-Cr Tool Steel

著者 (4件)： 中佐啓治郎 (広島大学大学院工学研究科) ,  張清廉 (広島大学大学院工学研究科) ,  王栄光 (広島大学大学院工学研究科) ,  加藤昌彦 (広島大学大学院工学研究科)
資料名： 日本金属学会誌  (Journal of the Japan Institute of Metals and Materials)
巻： 73  号： 11  ページ： 870-877 (J-STAGE)  発行年： 2009年 
JST資料番号： G0023A  ISSN： 0021-4876  CODEN： NIKGAV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 放電プラズマを利用したスパッタエッチングは表面に微細な突起物を形成するためにも利用されている。本研究では,熱間加工用合金工具鋼SKD5について,アルゴンイオンによりスパッタエッチングを行い,表面に円錐状あるいはリング状の突起物を形成させた。これらの試料表面に,ナノインデンターを用いて突起物層の変形挙動を調べた。スパッタエッチング時間28.8ksの試料表面には,リング状あるいは壁状の突起物の集合体が形成された。荷重が245mNと大きいときの荷重-変位曲線は,スパッタエッチングしない試料と比べて最大荷重での変位が大きいが除荷による回復も大きかった。スパッタエッチング後の焼戻しにより最大荷重変位および残留変位が減少し,ばらつきも小さくなった。

シソーラス用語： *工具鋼 ,  高合金鋼 ,  タングステン含有合金 ,  クロム含有合金 ,  *表面処理 ,  *イオンエッチング ,  表面構造 ,  突起部 ,  円錐 ,  *機械的性質 ,  ナノインデンテーション ,  曲線 ,  応力歪特性 ,  依存性 ,  変位 ,  塑性変形 ,  走査電子顕微鏡 ,  イオン顕微鏡法 ,  焼戻
準シソーラス用語： スパッタエッチング ,  表面形態 ,  突起物 ,  荷重変形曲線 ,  荷重依存性 ,  残留変位

分類 (2件)： その他の表面処理  (WC08070F) ,  機械的性質  (WB02030U)

引用文献 (21件)：

• 1) M. Shikida: J. Surface Finishing Soc. Japan 59(2008) 84-87.
• 2) W. Chen and H. Ahmed: Appl. Phys. Lett. 63(1993) 1116-1118.
• 3) A. G. Nassiopoulos, S. Grigoropoulos and D. Papadimitriou: Appl. Phys. Lett. 69(1996) 2267-2269.
• 4) V. V. Poborchii, T. Tada and T. Kanayama: Appl. Phys. Lett. 75(1999) 3276-3278.
• 5) L. W. Rangelow and St. Biehl: J. Vac. Sci. Technol. B 19(2001) 916-919.

タイトルに関連する用語 (8件)： Cr ,  工具鋼 ,  スパッタエッチング ,  微細 ,  円錐 ,  突起 ,  物層 ,  ナノインデンテーション