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J-GLOBAL ID：200902236602241497   整理番号：09A1205710

マイクロニードルの開発-フォトファブリケーション技術による微細構造体の作製-

著者 (3件)： 増井裕久 (静岡県工技研) ,  高木誠 (静岡県工技研) ,  田光伸也 (静岡県工技研)
資料名： 静岡県工業技術研究所研究報告  (Reports of the Industrial Research Institute of Shizuoka Prefecture)
号： 2  ページ： 32-35  発行年： 2009年09月 
JST資料番号： G0604B  ISSN： 1883-2350  CODEN： SKGKBP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 医療バイオ分野では,微小化学分析システム(μ-TAS)やドラッグデリバリーシステム(DDS)など微小流体を扱うシステムに注目が集まっている。これらのシステム用の微細部品を機械加工する場合,形状の制限や高コストなどの問題がある。ここでは,フォトファブリケーション技術によるマイクロニードルの作製法の開発研究を示した。この研究により,微細金型や超精密部品などの微細構造体を比較的容易に安価に供給出来る。

シソーラス用語： *微細加工 ,  フォトレジスト ,  *針 ,  露光 ,  現像 ,  熱処理 ,  金型
準シソーラス用語： *微小針

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (2件)：

• 増井裕久他: 静岡工業技術センタ--研究報告, 52, 64-65,(2007).
• 増井裕久他: 静岡県工業技術研究所研究報告1, 5-8,(2008).

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロニードル ,  開発 ,  フォトファブリケーション ,  微細構造体 ,  作製