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J-GLOBAL ID：200902236940447335   整理番号：09A0154840

光圧で制御されたミクロスフェアの円運動を用いたナノ座標測定機用のプロービング技術

Probing technique using circular motion of a microsphere controlled by optical pressure for a nanocoordinate measuring machine

著者 (4件)： MICHIHATA Masaki ,  NAGASAKA Yuto ,  HAYASHI Terutake ,  TAKAYA Yasuhiro
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 48  号： 2  ページ： 198  発行年： 2009年01月10日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ座標計測系に利用するために,光トラッピングミクロスフェアの円運動を用いた新しい表面プロービング技術を提案した。表面の法線ベクトル方向と位置を検出するために,プローブ球をプローブ軸と直角をなす平面内で円振動させて,プローブ球の円軌道をモニタした。検出の原理は,ミクロスフェアの円軌道の変化に基づいた。プローブが作業台に接近した場合,プローブ球の軌道が楕円になった。次に,表面の位置と法線ベクトル方向を見つけるためのパラメータとして,楕円の短軸長と短軸角度を用いた。この研究において,円運動プローブは,39nmの位置検出分解能を持つことや,表面に対する法線ベクトルの測定精度が3°程度であることが分かった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *座標測定機 ,  *ナノ構造 ,  *光プローブ ,  ミクロスフェア ,  回転 ,  *光圧 ,  光制御 ,  光学的測定 ,  光トラッピング ,  表面性状 ,  円軌道 ,  パラメータ ,  空間分解能 ,  測定精度 ,  位置検出

分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  光学一般  (BD03010Q)

タイトルに関連する用語 (4件)： 光圧 ,  ミクロスフェア ,  円運動 ,  座標測定機