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J-GLOBAL ID：200902238280213118   整理番号：05A0905429

最近の話題を追って(I)DLC膜の合成に関するいくつかの試み

著者 (1件)： 大竹尚登 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 56  号： 10  ページ： 587-593  発行年： 2005年10月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： セグメント構造DLCコーティング技術とナノパルスプラズマを用...

シソーラス用語： *DLC膜 ,...
準シソーラス用語： セグメント構造 ,...

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (18件)：

• 1) S. Aisenberg and R. Chabot ; J. Appl. Phys., 42, 2953 (1971)
• 2) J. Robertson ; Prog. Solid State Chem., 21, 199 (1991)
• 3) A. Grill and B. Meyerson ; Synthetic Diamond Emerging CVD Science and Technology, John Wiley & Sons, Inc., New York, N. Y., 91 (1994)
• 4) D. R. McKenzie ; Rep. Prog. Phys., 59, 1611 (1996)
• 5) 白倉 昌, 鹿毛 剛, 古賀義紀, 鈴木哲也;New Diamond, 1, 16, 2, 32 (2000)

タイトルに関連する用語 (3件)： 話題 ,  DLC膜 ,  試み