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J-GLOBAL ID：200902238412941010   整理番号：07A0629475

MOCVD法によるパラジウム複合膜形成過程の解析

Formation Process of Thin Palladium Membrane on a Porous Support by the MOCVD Method

著者 (3件)： 伊藤直次 (宇都宮大学工学部 応用化学科) ,  秋葉智充 (宇都宮大学工学部 応用化学科) ,  佐藤剛史 (宇都宮大学工学部 応用化学科)
資料名： 化学工学論文集
巻： 33  号： 3  ページ： 211-217 (J-STAGE)  発行年： 2007年 
JST資料番号： S0110B  ISSN： 0386-216X  CODEN： KKRBAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 酢酸パラジウムを原料として,MOCVD法を用いて先端封じの多...

シソーラス用語： *MOCVD ,...
準シソーラス用語： 計算流体力学

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分類 (1件)： 膜分離  (XD02120Z)

物質索引 (1件)： 酢酸パラジウム

引用文献 (16件)：

• HUANG, L. Palladium Membranes Supported on Porous Ceramics Prepared by Chemical Vapor Deposition. Thin Solid Films. 1997, 302, 98-101
• HUANG, L. Pd-Ni Thin Films Grown on Porous Al_2O_3 Substrates by Metalorganic Chemical Vapor Deposition for Hydrogen Sensing. Thin Solid Films. 1999, 345, 217-221
• ITOH, N. Selective Hydrogenation of Phenol to Cyclohexanone Using Palladium-based Membranes as Catalysts. Appl. Catal. A-Gen. 1993, 107, 83-100
• ITOH, N. Deposition of Palladium inside Straight Mesopores of Anodic Alumina Tube and its Hydrogen Permeability. Catal. Today. 2000, 39, 103-111
• ITOH, N. Preparation of Thin Palladium Composite Membrane Tube by a CVD Technique and its Hydrogen Permselectivity. Catal. Today. 2005, 104, 231-237

タイトルに関連する用語 (5件)： MOCVD ,  パラジウム ,  複合膜 ,  形成過程 ,  解析