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J-GLOBAL ID：200902238533455130   整理番号：09A0940791

ガス中微量水分測定の信頼性の飛躍的向上 計量トレーサビリティの確立と計測器の性能評価-

著者 (1件)： 阿部恒 (産業技術総合研 計測標準研究部門)
資料名： Synthesiology  (Synthesiology)
巻： 2  号： 3  ページ： 223-236  発行年： 2009年09月 
JST資料番号： L6839A  ISSN： 1882-6229  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微量水分測定の信頼性向上を目標として産総研が策定したシナリオ,それに沿った研究活動,および研究成果によって生じた微量水分測定の信頼性に関する近年の状況変化について紹介した。産総研が策定したシナリオは,微量水分計の目盛りの基礎となる微量水分の国家標準の確立,計測器の校正サービス体系の整備,校正対象となる高性能な計測器が必要であり,このシナリオに沿った研究活動を紹介した。我が国の場合には高度な半導体産業やプロセス産業を有することから,産総研としては自ら一次標準を開発することとし,微量水分発生装置の発生方式の選定において非常にユニークな選択をおこない拡散管法と呼ばれる方式を採用した。次に一次標準器の開発を紹介し,水分蒸発速度の測定,吸着・脱離水分,ゼロガス中の残留水分の測定,および乾燥ガスの流量測定などの研究成果を紹介し,最終的に12~1200nmol/mol(ppb)の微量水分発生が可能な微量水分発生装置の開発に成功したことを示した。また不確かさに関しても3%程度で実現され,微量水分標準が目標通り確立された。これに基づく産総研および(財)化学物質評価研究機構での計測器の校正サービスを紹介した。最後に,微量水分標準に基づく市販の微量水分計の一部に対しておこなった予備的な性能試験結果を紹介し,今後の展望を述べた。

シソーラス用語： *水分分析 ,  *微量分析 ,  *トレーサビリティ ,  *性能評価 ,  改良 ,  *水分計 ,  キャリブレーション ,  蒸発速度 ,  流量測定 ,  国家規格 ,  *気体
準シソーラス用語： 信頼性向上

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

引用文献 (24件)：

• [1] International Technology Roadmap for Semiconductors 2007, http://strj-jeita.elisasp.net/strj/ITRS07/Roadmap-2007.htm
• [2] 小林芳彦,万行大貴,小野宏之,池田拓也,池永和正,松本 功,杉原健一,渋谷和信:有機金属気相成長法によるGaN系化合物半導体成長に対するNH₃ガス中の水分の影響,大陽日酸技報,26,1-6 (2007). http://www.tn-sanso.co.jp/jp/rd/report26.html
• [3] H. H. Funke, B. L. Grissom, C. E. McGrew and M. W. Raynor: Techniques for the measurement of trace moisture in high-purity electronic specialty gases, Rev. Sci. Instrum., 74, 3909-3933 (2003).
• [4] M. Stevens and R. Benyon: Conceptual design of a low-range humidity standard generator, Papers and Abstracts from the Third International Symposium on Humidity and Moisture, 1, 103-110 (1998).
• [5] H. Abe and H. Kitano: Development of humidity standard in trace-moisture region: Characteristics of humidity generation of diffusion tube humidity generator, Sens. Actuators A, 128, 202-208 (2006).

タイトルに関連する用語 (5件)： 水分測定 ,  計量 ,  トレーサビリティ ,  計測器 ,  性能評価