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J-GLOBAL ID：200902238567568685   整理番号：05A0693467

バルク弾性波共振器用の亜鉛酸化薄膜の蒸着

Deposition of zinc oxide thin films for application in bulk acoustic wave resonator
著者 (5件)：
FERBLANTIER G.

FERBLANTIER G. について

(CEM2 - Univ. Montpellier II - UMR CNRS 5507, Univ. Montpellier II, Place E. Bataillon, 34095 Montpellier, FRA)

CEM2 - Univ. Montpellier II - UMR CNRS 5507, Univ. Montpellier II, Place E. Bataillon, 34095 Montpellier, FRA について

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MAILLY F.

MAILLY F. について

(CEM2 - Univ. Montpellier II - UMR CNRS 5507, Univ. Montpellier II, Place E. Bataillon, 34095 Montpellier, FRA)

CEM2 - Univ. Montpellier II - UMR CNRS 5507, Univ. Montpellier II, Place E. Bataillon, 34095 Montpellier, FRA について

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AL ASMAR R.

AL ASMAR R. について

(CEM2 - Univ. Montpellier II - UMR CNRS 5507, Univ. Montpellier II, Place E. Bataillon, 34095 Montpellier, FRA)

CEM2 - Univ. Montpellier II - UMR CNRS 5507, Univ. Montpellier II, Place E. Bataillon, 34095 Montpellier, FRA について

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FOUCARAN A.

FOUCARAN A. について

(CEM2 - Univ. Montpellier II - UMR CNRS 5507, Univ. Montpellier II, Place E. Bataillon, 34095 Montpellier, FRA)

CEM2 - Univ. Montpellier II - UMR CNRS 5507, Univ. Montpellier II, Place E. Bataillon, 34095 Montpellier, FRA について

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PASCAL-DELANNOY F.

PASCAL-DELANNOY F. について

(CEM2 - Univ. Montpellier II - UMR CNRS 5507, Univ. Montpellier II, Place E. Bataillon, 34095 Montpellier, FRA)

CEM2 - Univ. Montpellier II - UMR CNRS 5507, Univ. Montpellier II, Place E. Bataillon, 34095 Montpellier, FRA について


資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)

Sensors and Actuators. A. Physical について


巻： 122  号： 2  ページ： 184-188  発行年： 2005年08月26日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
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バルク弾性波共振器用に,反応性rfマグネトロンスパッタリング...
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*圧電振動子

圧電振動子 について

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分類 (2件)：
分類
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圧電デバイス 
(NC03110I)

圧電デバイス について

,  共振器 
(NC04050Y)

共振器 について

タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
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共振器

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亜鉛

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酸化

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薄膜

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蒸着

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