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J-GLOBAL ID:200902238613441350   整理番号:07A1013914

フッ素注入による欠陥制御を行ったDRAMセルの電子スピン共鳴分光評価

著者 (4件):
資料名:
巻: 68th  号:ページ: 875  発行年: 2007年09月04日 
JST資料番号: Y0055A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
金属・半導体のEPR  ,  半導体集積回路 

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