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J-GLOBAL ID：200902238817574821   整理番号：03A0184131

化学蒸着におけるイオン化ソースガスによるナノ粒子の合成

Nanoparticle Synthesis by Ionizing Source Gas in Chemical Vapor Deposition.

著者 (3件)： ADACHI M (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  TSUKUI S (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  OKUYAMA K (Hiroshima Univ., Hiroshima, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 42  号： 1A/B  ページ： L77-L79  発行年： 2003年01月15日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： イオン化化学蒸着ナノ粒子生成装置を開発した。音速ジェットコロ...

シソーラス用語： *化学蒸着 ,...

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分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

物質索引 (1件)： TEOS

引用文献 (12件)：

• 1) M. Adachi, K. Okuyama and T. Fujimoto: Jpn. J. Appl. Phys. 34 (1995) L1114.
• 2) M. Adachi, T. Hayashi, T. Fujimoto and K. Okuyama: IEEE Int. Symp. Semiconductor Manufacturing Conf. Proc., San Francisco, 1997 (IEEE, New York, 1977) p. P-103.
• 3) M. Adachi, T. Fujimoto, K. Nakaso, K. Okuyama, F. G. Shi, H. Sato, T. Ando and H. Tomioka: Appl. Phys. Lett. 75 (1999) 1973.
• 4) M. Uda and S. Ohno: Hyomen Kagaku 5 (1984) 426 [in Japanese].
• 5) M. Suzuki, M. Kagawa, Y. Syono and T. Hirai: J. Mater. Sci. 27 (1992) 679.

タイトルに関連する用語 (4件)： 化学蒸着 ,  イオン化 ,  ソース ,  ナノ粒子