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J-GLOBAL ID：200902238919584082   整理番号：08A0392960

マイクロレーザRaman分光によるDLC摩耗過程の推定

Estimation of DLC Wear Process by Micro Laser Raman Spectroscopy

著者 (7件)： KAWAGUCHI Masahiro (Advanced Material Processing Group, Tokyo Metropolitan Industrial Technol. Res. Inst.) ,  AOKI Saiko (Advanced Material Processing Group, Tokyo Metropolitan Industrial Technol. Res. Inst.) ,  MITSUO Atsushi (Advanced Material Processing Group, Tokyo Metropolitan Industrial Technol. Res. Inst.) ,  MORIKAWA Kazuo (Advanced Material Processing Group, Tokyo Metropolitan Industrial Technol. Res. Inst.) ,  UCHIDA Satoshi (Advanced Material Processing Group, Tokyo Metropolitan Industrial Technol. Res. Inst.) ,  CHOI Junho (Dep. of Mechanical Engineering, The Univ. of Tokyo) ,  KATO Takahisa (Dep. of Mechanical Engineering, The Univ. of Tokyo)
資料名： Tribology Online (Web)  (Tribology Online (Web))
巻： 3  号： 2  ページ： 110-115 (J-STAGE)  発行年： 2008年 
JST資料番号： U0046A  ISSN： 1881-2198  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,ダイヤモンド状炭素(DLC)膜の摩耗過程を推定するために,ボールオンディスク試験及びマイクロレーザRaman分光法を用いた。DLC膜は,高速度鋼(JIS-SKH51)面上にプラズマベースイオン打ち込み及び蒸着(PBII&D)により蒸着した。圧子として鋼球(JIS-SUJ2)を用いたボールオンディスク試験ののち,DLC膜の摩耗表面及び圧子の表面の両方についてマイクロRaman分光法を用いてマッピング測定を行った。その結果,DLC膜の構造に基板と圧子との間の接触界面から始まるはっきりとした変化が観察された。これはDLC膜のグラフィト化によるようである。他方,前述を除き,Ramanスペクトルは相互にほぼ同じであり,DLC膜の構造には変化がなかった。これは構造の変化にたいする滑りの影響は無視できることを意味している。さらに,基板及び圧子に含まれる炭素化合物及び,炭素及び鉄の固溶体は,滑りの有無でRamanスペクトルにほとんど影響しない。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  *摩耗 ,  *Raman分光法 ,  黒鉛化 ,  高速度鋼 ,  プラズマCVD ,  滑り摩耗 ,  摩耗試験 ,  圧子 ,  高炭素合金鋼 ,  軸受鋼 ,  界面 ,  Ramanスペクトル
準シソーラス用語： *マイクロレーザ ,  プラズマ源イオン注入 ,  SUJ2 ,  固固界面

分類 (1件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C)

引用文献 (23件)：

• [1] Robertson, J., “Diamond-Like Amorphous Carbon,” Mater. Sci. Eng., R 37, 2002, 129-281.
• [2] Donnet, C., “Recent Progress on the Tribology of Doped Diamond-Like and Carbon Alloy Coatings: A Review,” Surf. Coat. Techn., 100-101, 1998, 180-186.
• [3] Grill, A., “Diamond-Like Carbon: State of the Art,” Diam. Rel. Mater., 8, 1999, 428-434.
• [4] Grill, A., “Electrical and Optical Properties of Diamond-Like Carbon,” Thin Solid Films, 355-356, 1999, 189-193.
• [5] Erdemir, A., “The Role of Hydrogen in Tribological Properties of Diamond-Like Carbon Films,” Surf. Coat. Techn., 146-147, 2001, 292-297.

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロレーザ ,  Raman分光 ,  DLC ,  摩耗 ,  過程 ,  推定