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J-GLOBAL ID：200902238961510170   整理番号：06A0015942

BrCNの分解による機械的に硬いアモルファス窒化炭素薄膜の析出

Deposition of mechanically hard amorphous carbon nitride films from decomposition of BrCN. Effects of substrate cooling and pulsed rf-bias voltage
著者 (3件)：
ITO H.

ITO H. について

(Dep. of Chemistry, Nagaoka Univ. of Technol., Kamitomioka 1603-1, Nagaoka 940-2188, JPN)

Dep. of Chemistry, Nagaoka Univ. of Technol., Kamitomioka 1603-1, Nagaoka 940-2188, JPN について

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HORI K.

HORI K. について

(Dep. of Chemistry, Nagaoka Univ. of Technol., Kamitomioka 1603-1, Nagaoka 940-2188, JPN)

Dep. of Chemistry, Nagaoka Univ. of Technol., Kamitomioka 1603-1, Nagaoka 940-2188, JPN について

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SAITOH H.

SAITOH H. について

(Dep. of Chemistry, Nagaoka Univ. of Technol., Kamitomioka 1603-1, Nagaoka 940-2188, JPN)

Dep. of Chemistry, Nagaoka Univ. of Technol., Kamitomioka 1603-1, Nagaoka 940-2188, JPN について


資料名：
Journal of Non-Crystalline Solids  (Journal of Non-Crystalline Solids)

Journal of Non-Crystalline Solids について


巻： 352  号： 1  ページ： 1-7  発行年： 2006年01月01日 
JST資料番号： D0642A  ISSN： 0022-3093  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
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抄録/ポイント
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基板に対する高周波(RF)バイアスおよびArのマイクロ波放電...
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臭化シアン

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分類 (1件)：
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その他の無機化合物の薄膜 
(BK14060A)

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アモルファス

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窒化

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炭素薄膜

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