MOCVDにおけるチタン源に関するin situ赤外分光研究

NAKAMURA T; NISHIMURA T; MOMOSE S; TACHIBANA K

文献

J-GLOBAL ID：200902239403521927 整理番号：04A0835636

MOCVDにおけるチタン源に関するin situ赤外分光研究

In Situ Infrared Spectroscopic Study on a Titanium Source in MOCVD

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資料名：
巻： 151 号： 10 ページ： C605-C609 発行年： 2004年
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

(Ba,Sr)TiO₃のMOCVDのT...

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無触媒気相反応 , 第4族,第5族元素の錯体

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